所属分类：测量和测量设备

ULVAC电离真空表（多离子量规）SH200-A +测量单元M46（ICF070）套件 SH200-A-M46

ULVAC电离真空表（多离子量规）SH200-A +测量单元M46（ICF070）套件 SH200-A-M46

品牌：阿尔巴克

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18866622123 张工

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产品详情

特征

可以连接具有不同测量范围的测量设备：使用多离子计的使用使可以根据应用程序选择测量设备。
紧凑型：达到的尺寸明显小于常规产品（由控制器量减少56％），使其成为上小的。
提高可用性：可以通过连接到PC/智能手机来设置设定点和状态检查。
综合阵容：除了模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规范（SH200-R）外，计划添加EtherCat规范（SH200-E）。
细丝生命通知功能：通过监视细丝的力量，可以事先通知灯丝寿命。
范围广泛的压力测量：可以从大气压到高真空区域（1×10+5至5×10-8Pa）进行测量。（当连接到可选单元SWU10-R时）
准确的大气压测量：可以检查大气压以进行腔室开口。（连接可选的单位SAU时）

功能

用于各种制造设备中高真空区域的过程控制，包括半导体和电子组件
用于检查各种制造设备的高真空区域中使用许多工艺室的高真空区域中的到达压力

使用端

产品规格

的集合

规格和标准	测量压力范围（PA）：1 x 10 + 1至5 x 10-8 测量元素：M46 切割法兰：ICF070
材料	-
质量/质量单位	1kg
	-
和配件	-
	日本
小盒子计数	1
	-
	-
	-
标准	rohs2