产品详情
[功能]
●通过使用橡胶密封质量
●提供低价●保证±1.0％f.s.
●与从10SCCM到50SLM
●50SLM
●兼容，通过选择（VR）的范围（VR）的范围（通过（参考量）函数（flow clof）（flow clof）（Flow）（Flow）（F流量）（F流量）（Flow×）（f Flow）（Flow）（flow clof。输入到三位数的旋转开关中，以更改气体类型和F.S.流速
●可变范围（VR）功能允许一个单元适应多个规格，减少备件
●选择RS-485通信功能作为选项，并且可以通过Daisy链连接连接多达32个质量流量控制器
●可以使用 特的 温度补偿方法流动传感器。配备高速，高性能的电磁执行器。 ●通过采用金属外壳和各种过滤器，即使在具有高频噪声和直流磁场的 中，它也提供了可靠的操作。
规格>型号名称：MC-10RC流速（N2等效）：10至5,000 SCCM流量控制范围：2至100％F.S.
润滑操作：通常关闭的精度：±1.0％F.S。可重复性：±0.2％F.S。 Response time: 1sec Analog flow setting signal: 0.1 to 5VDC Analog flow output signal: 0 to 5VDC Required differential pressure: 50 to 300kPa Variable pressure resistance: 1MPa(G) Guaranteed operating temperature: 15 to 35°C 0-80% RH Leak rate: 1×10^-8Pa・m^3/sec He Gas contact material: SUS316L, magnetic stainless steel, PTFE Seal material: Viton （R）需要的功率： +15VDC 100mA，-15VDC 150MA安装位置：免费模拟连接器：DSUB 9PIN阀类型：Solaid执行器重量（kg）：1.2
