产品详情
[功能]
●通过采用橡胶密封件
●降低价格●保证±1.0％F.S.S.
●与10SCCM至50SLM（5000SCCM）
●●●●●●●●●●通过选择（VR）的范围（VR）的范围（通过（参考流量）callation（参考流量）（Flow callaby）（Flow。
●可变范围（VR）功能允许一个单元适应多个规格，减少备件
●减少备用零件
●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●可以通过DAISY链连接
规格
型号名称：MC-11RC
流量（N2等效）：〜50 SLM
流速控制范围：2至100％F.S.
阀门运动由以下方式：±1.0％F.S。可重复性：±0.2％F.S。 Response time: 1sec Analog flow setting signal: 0.1 to 5VDC Analog flow output signal: 0 to 5VDC Required differential pressure: 200 to 300kPa Voltage resistance: 1MPa(G) Guaranteed operating temperature: 15 to 35°C 0-80% RH Leak rate: 1 x 10^-8Pa・/sec He Gas contact material: SUS316L, magnetic stainless steel, PTFE Seal material: Viton (R) Power必需： +15VDC 100MA，-15VDC 200ma安装位置：免费模拟连接器：DSUB 9PIN阀类型：Solaid Actuator重量（kg）：1.2
