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平行脉冲DC方法,用于出色的离子平衡和高速静态去除
除了具有静态去除能力的等离子体簇技术外,使用一组多个离子生成设备的 平行脉冲DC方法可以有效地产生正(+离子)和负( - 离子)离子,它在宽度和运输方向上实现了极好的离子平衡±5V,几乎没有不均匀度。